氣浮轉(zhuǎn)臺配備用于位置控制的高精度旋轉(zhuǎn)編碼器，可以通過關(guān)閉進氣來夾緊轉(zhuǎn)子。

核心組件：

• 電機：作為動力源，驅(qū)動轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)，通常采用無框力矩電機。

• 氣浮軸承系統(tǒng)：通過高壓氣體在轉(zhuǎn)臺底部形成空氣墊，實現(xiàn)無接觸支撐，減少摩擦。

• 光柵及讀頭：檢測并反饋回轉(zhuǎn)角度，是實現(xiàn)高精度定位精度、重復(fù)定位精度、靜態(tài)抖動的基礎(chǔ)。

• 回轉(zhuǎn)臺面或Chuck：實現(xiàn)極小端面跳動&徑向跳動的支撐安裝面，其平面度&平行度會直接影響最終的跳動值。

技術(shù)參數(shù)圖

應(yīng)用領(lǐng)域

■ 半導(dǎo)體工業(yè)：

? ?晶圓切割、晶圓檢測、晶圓研磨/減薄設(shè)備；

■ 光學(xué)制造與檢測：

? ?工業(yè)CT、激光加工、光纖對準(zhǔn)、超精密車床、五軸加工中心、激光反射鏡等元件的精密加工與角度標(biāo)定；

■ 精密測量：

? ?光學(xué)輪廓儀、圓柱度儀、結(jié)合多軸運動臺實現(xiàn)三維空間內(nèi)的高分辨率位移檢測；

■ 科研實驗：

? ?如量子計算設(shè)備中的超低溫環(huán)境運動控制，或材料力學(xué)性能測試；

■ 航空航天：

? ?航空發(fā)動機葉片加工與檢測、衛(wèi)星姿態(tài)控制測試、慣性導(dǎo)航設(shè)備測試及校準(zhǔn)等；

■ 醫(yī)療：

? ?CT、MRI醫(yī)療影像設(shè)備中，氣浮轉(zhuǎn)臺用于承載和旋轉(zhuǎn)掃描部件。