產(chǎn)品說明

·6自由度振動響應(yīng)

·10HZ以上的振動由被動減振器消除

·通過前饋控制、反饋控制和Stage算法，可以將運動帶來的振動抑制到最小

·重復(fù)精度非常高

·將所有型號高度統(tǒng)一為191mm

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?垂直方向 Vertica