小巧玲瓏的MAPS 系列能應對全自由度的振動?

明立精機的MAPS系列產品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動器而構成的組裝型除振裝置。使用1組4個的話，對應全自由度的振動，能發(fā)揮出優(yōu)秀的除振性能、制振性能、定位性能等。?

MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動?

被動除振不時常有，因為固有振動而產生的共振問題的例子，如果進行主動化即可去除固有振動的共振。而且，也能獲得在此頻段的優(yōu)秀除振性能。例如：在被動除振 不擅長的 2Hz 附近的低頻振動領域中，比起被動除振，主動除振可以 將振動減小至 1/30 ～ 1/100 以下。

標準的MAPS可除振10噸以上的設備?

近年的精密設備伴隨著功能 的充實，越來越傾向于大型化?？?重量超過10噸的設備已經被開發(fā)出來。因為設備的大型化很難保持設備自身的高固有頻率，所以以前幾乎不會成為問題的低頻振動卻變 得很容易影響設備。這個也是對于低頻振動有優(yōu)秀除振性能的主動型除振系統(tǒng)必需的一個理由。

MAPS 具有優(yōu)秀的精確定位及精密校平性能?

設備變大的話，傾斜就會成為問題。由于設備自身很重，如果傾斜，自重會造成彎曲，對精度的顯著影響就會出現。因為 MAPS是充分考慮精密校平性能后實行控制的，能抑制傾斜并能保持精度。其次，MAPS考慮精確定位后實行控制，能平順地傳遞晶圓及LCD面板。