氣浮軸承是一種利用高壓氣體（空氣、氮氣等）形成氣膜來實現(xiàn)非接觸支撐的軸承技術，具有零摩擦、無磨損、超高精度等特點，廣泛應用于精密制造、半導體設備、航空航天等領域。

1. 氣浮軸承的核心原理

氣浮軸承通過向軸承間隙（通常5~50μm）注入高壓氣體，形成一層穩(wěn)定的氣膜，使轉子與定子完全分離，實現(xiàn)：

• 非接觸懸浮：消除機械摩擦，理論壽命無限（無磨損）。

• 納米級精度：氣膜均勻性可達亞微米級，適合超精密運動控制。

• 零污染：無需潤滑，潔凈度高，適用于無塵環(huán)境（如光刻機）。

2. 氣浮軸承的主要類型

（1）按氣膜形成方式分類

（2）按結構分類

• 徑向氣浮軸承：支撐旋轉軸的徑向載荷（如主軸）。

• 推力氣浮軸承：承受軸向載荷（如垂直軸支撐）。

• 復合氣浮軸承：徑向+軸向一體化設計（如光刻機工作臺）。

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3. 核心性能參數(shù)

4. 氣浮軸承的優(yōu)缺點

? 優(yōu)點

• 零摩擦 & 無磨損：理論壽命無限長，維護成本極低。

• 超高精度：無機械振動，運動重復性達納米級（如光刻機）。

• 高速度：轉速可達10萬RPM以上（如牙鉆、離心機）。

• 潔凈無污染：無需潤滑油，適合半導體、醫(yī)療設備。

? 局限性

• 成本高：需精密加工（氣孔/氣槽μm級公差）和穩(wěn)定氣源。

• 低承載：相比液壓或滾珠軸承，單位面積承載力較低。

• 依賴氣源：斷氣或氣壓不穩(wěn)會導致氣膜崩潰，需備用系統(tǒng)。