氣浮軸承 圓形空氣(氣浮)軸承 氣浮軸承是一種利用高壓氣體（空氣、氮氣等）形成氣膜來實現(xiàn)非接觸支撐的軸承技術(shù)，具有零摩擦、無磨損、超高精度等特點，廣泛應(yīng)用于精密制造、半導(dǎo)體設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域。1.氣浮軸承的核心原理氣浮軸承通過向軸在線咨詢 產(chǎn)品詳情 氣浮軸承是一種利用高壓氣體（空氣、氮氣等）形成氣膜來實現(xiàn)非接觸支撐的軸承技術(shù)，具有零摩擦、無磨損、超高精度等特點，廣泛應(yīng)用于精密制造、半導(dǎo)體設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域。 1. 氣浮軸承的核心原理 氣浮軸承通過向軸承間隙（通常5~50μm）注入高壓氣體，形成一層穩(wěn)定的氣膜，使轉(zhuǎn)子與定子完全分離，實現(xiàn)： 非接觸懸浮：消除機械摩擦，理論壽命無限（無磨損）。 納米級精度：氣膜均勻性可達亞微米級，適合超精密運動控制。 零污染：無需潤滑，潔凈度高，適用于無塵環(huán)境（如光刻機）。 2. 氣浮軸承的主要類型 （1）按氣膜形成方式分類 類型 原理 特點 應(yīng)用 靜壓氣浮軸承 外部氣源持續(xù)供壓，氣膜穩(wěn)定 承載力高、剛度大，但需復(fù)雜氣路 機床主軸、精密測量 動壓氣浮軸承 依靠轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)自生氣壓 無需外部氣源，但啟動/停止階段有接觸 高速渦輪機、飛輪儲能 （2）按結(jié)構(gòu)分類 徑向氣浮軸承：支撐旋轉(zhuǎn)軸的徑向載荷（如主軸）。 推力氣浮軸承：承受軸向載荷（如垂直軸支撐）。 復(fù)合氣浮軸承：徑向+軸向一體化設(shè)計（如光刻機工作臺）。 3. 核心性能參數(shù) 參數(shù) 說明 典型值 氣膜厚度 轉(zhuǎn)子與定子間距 5~50 μm 剛度 抵抗變形的能力 50~500 N/μm 承載力 單軸承最大負載 幾十至上千牛（N） 供氣壓力 氣源壓力需求 0.3~0.8 MPa 運動精度 旋轉(zhuǎn)/直線運動誤差 ≤0.1 μm（高端應(yīng)用） 4. 氣浮軸承的優(yōu)缺點 ? 優(yōu)點 零摩擦 & 無磨損：理論壽命無限長，維護成本極低。 超高精度：無機械振動，運動重復(fù)性達納米級（如光刻機）。 高速度：轉(zhuǎn)速可達10萬RPM以上（如牙鉆、離心機）。 潔凈無污染：無需潤滑油，適合半導(dǎo)體、醫(yī)療設(shè)備。 ? 局限性 成本高：需精密加工（氣孔/氣槽μm級公差）和穩(wěn)定氣源。 低承載：相比液壓或滾珠軸承，單位面積承載力較低。 依賴氣源：斷氣或氣壓不穩(wěn)會導(dǎo)致氣膜崩潰，需備用系統(tǒng)。 上一篇： 矩形氣浮軸承 下一篇：沒有了
